成果完成人：王永超 居炎鹏 赵泽良 仝红岩 王留土 郑海强 史豪杰 陈耘田 郭利乐 刘占军 李伟

第一完成单位：河南东微电子材料有限公司

成果简介：本发明提供了一种氧化镁靶材背板的氧化铝涂层制备方法,步骤包括：将氧化镁靶材溅射面、背板非喷涂面均用耐高温布包裹保护;清洗喷涂的部位;对喷涂部位进行喷砂处理;再次清洗喷涂部位;等离子喷涂工艺进行氧化铝喷涂;氧化铝涂层进行磨削抛光处理。本发明的氧化铝涂层能在磁控溅射中保护氧化镁靶材和背板,能有效避免焊接层料因发热而受损影响磁控溅射,延长氧化镁靶材使用寿命,对降低镀膜不良率,提高成膜质量起着至关重要作用。

成果类别：应用技术